ekasuga真空兼容静电电位传感器KS-3101
产品型号：KS-3101
产品品牌：日本春日机电
产品简介：
由于减少静电的气体成分在真空中很稀薄，静电引起的生产问题比常压环境下更严重，真空兼容静电势传感器使用可承受在真空环境中使用的材料和组件，可用于测量真空中产生的静电。用它来确定真空过程中产生静电的原因，并持续监测静电势。
ekasuga真空兼容静电电位传感器KS-3101
大气环境压和正空下的平滑度
该图显示信息了选择 KS-3101 在负压室中给予多种线电压测试导电连接板的电位差的最后。但是在有所不同的工作压力氛围下（真空泵下10-3Pa，大气磅礴压下10+5Pa），不能不校正也要得以等于的侧量值。
*此数据报告为实际值，往往担保值。
施用进口真空室兼容静电感应势传红外感应器器检测对进口真空室室的应响
脱气介绍相对较
对感应器器释放出来的气味的了解证明，气味的通常部分是水和进样器碳氢氧化物。根据每一家谷值与背景图中检测的的谷值重复，因而相信它隶属于情况中吸附物在感应器器外层上的混合气体。
●极限点涡流的很
排气管系统：锅轮原子核泵TG220FCAB，Osaka Vacuum Co., Ltd.研制
res排气访问速度：220L/sec(N2)
腔室规格尺寸：φ300×L 300mm
*此数据显示为实际值，早已不绝对值。
规格为
| 整治 | KS-3101 |
|---|---|
| 查重手段 | 震动幅度从表面电位差感知器 |
| 推荐英文蒸空度 | 10 5 Pa（臭氧层压力差）、10 -1至10 -5 Pa |
| 精确测量时间范围 | HIGH量限：0～±20.0kV（检测的距100mm） LOW分度值：0～±2000V（测量方法路程10mm） |
| 量测高精准度 | ±10%已内 |
| 警笛 | 探测感应器器常见故障LED显示信息 |
| 使用的环保 | 温差0-40℃，温度湿度65%下列（无结霜现象） |
| 大规模的 | 约 130g（不包含通信电缆和调控盒） |
| 选配要领 | 涡流线缆线：KS-3101-C01（线缆线总长度1m，可延伸） 掌握箱：KS-3101-B05（带在身边气侧电线5M，可加长） 掌握器：KSD-0110 或 KSD-0120 |
*蒸空法兰盘需加盟商自购。
影片
传感器
的支持摸屏和SD卡的超性能参数型
提出可見性的简便类
*请在各自的页面上查看控制器 KSD-0110 和 KSD-0120 的规格。
各个部位分宽度/各称
（1）校正单元测试卷（
2）调零单元测试卷（
3）壳体（不透钢弧面）（
4）布置平垫（铁氟龙）（5）
满量程选择旋转开关（
6）开机运行/告警警示灯
（7）冲电指示标志灯(0, +, -) (
8) 专业电揽（带衔接器）
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