simco日本思美高进口5225 型AeroBar棒式离子发生器
产品型号:5225 型AeroBar
产品品牌:SIMCO 静电测试仪
产品简介:
■单晶硅电极在全球范围内拥有无与伦比的
采用记录,由于其超低颗粒特性和电极材料,避免了金属污染的风险
。
通过安装 5200-SR 外部电极静电消除目标附近的传感器(选件),可以对静电消除目标附近的离子平衡进行反馈控制,而不是离子发生器本身(连接5200-SR)如果没有,离子发生器内置的传感器会自动调整离子平衡.)
■根据半导体前端工艺的EFEM设定棒的长度
■离子发生输出、离子发生时间、警报阈值等 参数范围广 通过使用 进行设定,可以灵活应对适用于远距离应用和弱气流环境
■只需通过数字输入参数即可获得高再现性,并且可在短时间内完成设置
■除了简单的报警 IO 外,还可以使用提供的 DLL 进行实时监控免费,有助于掌握工艺设备内部状态。
simco日本思美高进口5225 型AeroBar棒式离子发生器
日本思美高静电测试仪5225S AeroBar 型用于超洁净独立安装
■单晶硅硅电极材料在全球排名区域内具有的
主要包括信息,可能其极低粒状特点和工业材料,尽量避免了合金水污染的危险
。
顺利通过安转 5200-SR 外部链接电极片解除除静电解除个人阶段目标付进的传调节器器(选件),可对解除除静电解除个人阶段目标付进的阴铁阴阳化合物取舍做好汇报管理,而就不是阴铁阴阳化合物遭受器本来(连接方式5200-SR)假设未,阴铁阴阳化合物遭受器默认设置的传调节器器会自动化调整阴铁阴阳化合物取舍.)
■按照其半导前段新工艺的EFEM人设棒的尺寸
■铝铝离子情况读取、铝铝离子情况时、鸣响阈值法等 参数值超范围广 借助在使用 实行制定,能能灵敏面对适合于远相应适用和弱气体流动周围环境
■只需进行阿拉伯数字读取参数设定就行了取得高重演性,如果可在间歇间内达到设定
■除非简约的报警声音 IO 外,也可以施用出具的 DLL 通过公交实时风控免費,有利于促进熟悉掌握的工艺生产设备内的状态。
輸入电流 | 24V AC,50/60Hz,1W(关键值)由 IM6T 带来。 |
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沟通的重要性模式 | RS485(IM6T 和 5225 互相) |
输出的电压电流 | 0kv 至约+/-20kv |
工作输出手段 | 脉冲信号直流电压电压经营机制、恒定直流电压电压经营机制(先选) |
输入输出电压电流 | 原机<15microA电流量和电压值约束电源线路 |
联系金属接头 | RJ11,4极4芯 |
亚铁离子遭受時间 | 小0.1秒,10秒 可各分为配置极性 |
参比电极 | 单晶体硅探针可变更 |
嗅氧引起量 | <0.005ppm(24小時积分系统測量) |
根据整洁度 | ISO 1 级,0.1 纳米 |
尺码 | 高 53 公厘 x 深 31 公厘 x 长 569 公厘 (-22)、721 公厘(-28)、 907直径(-36)、1128直径(-44)、1412直径(-56)、1636直径(-64)、 1918 mm毫米(mm) (-76) 和 2144 mm毫米(mm) (-84) |
承重 | -22:每提高大小1.02kg 0.17kg/30cm |
对外部的 | ABS不饱和树脂 |
接口类型版块类型 5200-IM6T
发送的电压 | 24V 整流+/-5%,1.5A |
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联络方式 | 以太网、RS232C |
警报读取 | 继家用电器触点开关(只限 V4.0 及更高的版本信息) |
大小 | 高 74 亳米 x 深 71 亳米 x 长 315 亳米 |
重量体积 | 2kg |
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