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日本进口新宇宙XP-703DIII 半导体材料气体检测
测目标气物
半导体芯片文件有害气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氯气等)
检查测量原则
电话型半导体器件式
取样玩法
自动式脱颖而出式
测试空气公司名称
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氡气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
可检则小质量浓度
(企业:ppm)
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
监测说道
蜂鸣器断续鸣响及指示标志灯闪耀
回话的速度
10秒之内
图片尺寸
W38×H130×D30mm